研究院介绍
深耕超纯水领域多年,
为 FAB 芯片半导体、PCB 电路板、显示面板、光伏硅材料、电子级湿化学品、PEM 制氢用纯水、实验室等行业提供需要的超纯水系统,
至今持续稳定运行10年以上。
拥有自主研发与设计电子半导体超纯水系统的核心技术实力,电子级超纯水系统水质最高可达ASTM D5127-13中E1.2标准,B≤3ppt,SiO2≤0.5ppb、TOC≤1ppb,DO≤1ppb,颗粒物(≥0.05μm)≤500pcs/ml,打破行业技术垄断。
具备多年GMP纯化水系统设计经验,自研双膜法设计,创新环形管道布局,搭载智能化水质监测系统,保证水质稳定,杜绝污染,严格满足GMP验证。
1.极限除硼技术
2.深度除TOC技术
3.定制级超纯水膜技术
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