在电子芯片的生产过程中,几乎每道工序需要使用超纯水进行清洗。水中的离子含量对产品有着极大的影响。超纯水(UPW)指电阻率达到18 MΩ·cm(25℃)的水。这种水中除了H2O外,几乎没有什么杂质或其他离子。超纯水用水标准可分为国标《电子级水》和美标《电子学和半导体工业用超纯水》。
莱特莱德能够为用户提供更优品质的超纯水,有效解决上述纯水清洗芯片存在的问题,更好地提升芯片的良品率。
· 采用独有靶向离子交换系统,用于超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除,保证出水硼离子能够稳定≤5ppt。
· 系统可连续,稳定地生产高纯度的超纯水,无需因树脂更换而停机。
· 系统集成度高,双操作系统,稳定性更好。
· 日常保养维护简单方便,设备耐用,寿命长。
Related
recommendations