在集成电路的制备过程中,为获得符合清洁度要求的硅片,会产生大量的清洗废水。清洗废水中的主要污染物为高浓度悬浮颗粒物、酸性清洗剂、碱性清洗剂、有机清洗剂及重金属离子等。
莱特莱德在常规水解酸化+接触氧化的工艺路线上,延伸出废水零排放工艺。系统中采用MBR膜作为预处理的保安关卡,保证了预处理出水的良好水质稳定性。膜浓缩系统配合催化氧化技术和ACF吸附模块,将被浓缩、富集的COD去除至可接受范围内。同时将无机盐和有机物从纯水中分离,最后进入MVR蒸发器进行浓缩。该系统实现了水资源的高效回收回用,解决工业废水大量排放造成的资源浪费问题。
· MBR膜池维持高浓度的微生物量,处理装置容积负荷高,占地面积小。
· 膜系统对废水进行最大限度浓缩减量处理,最高可实现98%的收率。
· 系统可有效去除清洗废水中铜、钒、镍、铬等重金属,处理效果显著。
· 运用先进的膜法处理工艺,将生产废水分类收集、处理,然后再次回用于生产线。
· 系统设置实时在线监测装置,确保系统能长期稳定运行。
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